ИСТИНА

Выравнивающая способность электролита, P, характеризует степень отклонения микрораспределения скорости осаждения металла или сплава от равномерного: P = - (d ln i/d ln i*). Здесь i и i* - локальные значения, соответственно, парциальной плотности тока для разряда ионов металла и плотности тока при первичном распределении. При P = 0 имеет место равномерное микрораспределение и наблюдаемое изменение микропрофиля катодной поверхности - результат роста кристаллической шероховатости и геометрического выравнивания. При P < 0 скорость осаждения на микровыступах выше, чем на ровных участках поверхности и в микроуглублениях. Локальная скорость осаждения становится выше по мере уменьшения радиуса микровыступов [2]. В предельном случае – при P = -1 на катоде образуется дендритообразный осадок. Обратная картина наблюдается при P > 0 – повышенная скорость осаждения металла в микроуглублениях и пониженная на микровыступах. При P > 0,5 большая часть осаждаемого металла локализуется в микроканавках и глухих отверстиях, что позволяет использовать такие электролиты и режимы в производстве микроэлектроники, а также при гальванической обработке деталей, изготовленных из металлического порошка.