ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
В работе предложена конструкция кремниевого чувствительного элемента давления (ЧЭД) с упорами, обеспечивающая стойкость к многократным перегрузкам как со стороны тензосхемы, так и со стороны мембраны. Проработана оптимальная технология нанесения припойного стекла, обеспечивающая точные расстояния между мембраной кристалла и упорами. Получена серия ЧЭД с номинальным давлением в диапазоне от 1,6 кПа до 25 кПа, имеющих 10 кратное повышение прочности без ухудшения остальных параметров.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Полный текст | Doklad_NTK_Basov_2017.docx | 598,0 КБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] | |
2. | Презентация | Prezentatsiya_NTK_Basov_2017_.pptx | 3,1 МБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] |