ИСТИНА

Целью данной работы является получение и исследование структурных, оптических и нелинейно оптических свойств пленок оксида никеля (NiO), полученных ВЧ магнетронным напылением с сопутствующей ионно лучевой обработкой. Эксперименты показали, что сопутствующая ионно-лучевая обработка и содержание кислорода в газовой среде существенно влияют на скорость нанесения плёнок, следовательно, на их толщину при заданном времени напыления. Рентгенофазовый анализ показал наличие кристаллической фазы NiO. Другие оксиды и металлический (неокисленный) никель не обнаружены. Коэффициент пропускания плёнок оксида никеля не превышает 50 %. На спектрах отражения в УФ области на длине волны 232 нм имеется характерный локальный минимум (полоса поглощения). Наличие минимума на длине волны 232 нм свидетельствует о неполном окислении никеля в плёнках NiO. Измерения типа проводимости показали, что все полученные плёнки имеют р-тип проводимости. Это подтверждает наличие вакансии типа Ni3+, которая является акцепторным центром.