|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследованы оптические свойства тонких пленок широкозонного полупроводника SnO₂, синтезированных методом ВЧ-магнетронного напыления. Тонкие пленки SnO₂ являются перспективным материалом для газовых сенсоров и перовскитных солнечных элементов. Для пленок толщиной от 4 до 1030 нм определены спектральные зависимости коэффициентов пропускания, отражения и поглощения в спектральном диапазоне 240–2500 нм. Для тонких пленок (до ~90 нм) коэффициент отражения при нормальном падении определялся путем аппроксимации угловых зависимостей, измеренных спектроскопическим эллипсометром. Для более толстых пленок, где проявляются интерференционные эффекты, для корректного определения оптических констант был применен метод Сванпула.