|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Дизайн пространственно-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии для оценки однородности плазмы в плазмохимических реакторахдоклад на конференции
- Авторы: Зиганшин И.И., Лопаев Д.В., Кириллов Е.А., Брюшков М.М., Рахимов А.Т.
- Всероссийская с международным участием Конференция : 7-ая Школа молодых учёных Российского форума «Микроэлектроника 2025»
- Даты проведения конференции: 15-23 сентября 2025
- Дата доклада: 18 сентября 2025
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Зиганшин И.И.
- Место проведения: Сириус, Россия, Россия
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Зиганшин Илья Ильнурович