|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ФОРМИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОДОВ ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНОГО ОДНОЭЛЕКТРОННОГО ТРАНЗИСТОРА CФОКУСИРОВАННЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМдоклад на конференции
- Авторы: Колесов В.В., Солдатов Е.С., Сапков И.В.
- Международная Конференция : 21st Int. Crimean Conference “Microwave & Telecommunication Technology” (CriMiCo’2011)
- Даты проведения конференции: 2011
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Колесов В.В.
- Место проведения: 12-16 September, Sevastopol, Crimea, Ukraine, Ukraine
-
Аннотация доклада:
Созданы чипы-заготовки для молекулярного одноэлектронного транзистора с использованием технологии травления сфокусированным ионным пучком, характеризующейся высокой скоростью проведения процесса, воспроизводимостью результатов, снижением требований к предшествующим литографическим операциям и вполне реальными перспективами уменьшения ширины зазора. Определены оптимальные параметры по разрезанию металлической перемычки электродов, позволяющие получать зазор в 70 нм, приемлемый для дальнейших операций по формированию системы «нависающих» электродов.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич