ИСТИНА

Приглашенный доклад посвящен описанию моделирования процесса напыления тонких оптических покрытий с помощью методов молекулярной динамики. Представлены результаты напыления аморфных слоев пленок диоксида кремния толщиной более 100 нм, содержащих более 3 млн. атомов. Исследованы свойства таких пленок: плотность, радиальная функция распределения, точечные дефекты, напряжения, статистика колец Si-O-Si, статистика пор. Показано, что пленки диоксида кремния, напыленные с помощью метода IBS с энергиями атомов кремния 10 эВ имеют повышенную плотность и показатель преломления по сравнению с подложкой из суперчистого кварцевого стелкла - и это подтверждено в экспериментах.