|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка нанобиосенсоров на основе акустоэлектронных технологийдоклад на конференции
- Авторы: Колесов В.В., Кузнецова И.Е., Солдатов Е.С., Кашин В.В., Мельников А.Е., Анисимкин В.И., Дагесян С.А.
- Всероссийская Конференция : 2-я Всероссийская акустическая конференция, Н. Новгород, ИПФ РАН, 2017
- Даты проведения конференции: 6-9 июня 2017
- Дата доклада: 7 июня 2017
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Кузнецова И.Е.
- Место проведения: Нижний Новгород, Russia
-
Аннотация доклада:
В работе разработан акустоэлектрический чип-сенсор на основе монокристаллической пластины ниобата лития толщиной 0.35 мм с системой встречно- штыревых преобразователей (ВШП) для возбуждения соответствующей акустической волны, который вставляется в чип-холдер со стандартным разъемом ножевого типа. Для создания планарной наноструктуры наноэлектронного трансдьюсера использовалась технология стандартной фотолитографии, различных фоторезистов и реактивного ионного травления и магнетронного напыления. Область размером 80х80 микрон в центре чипа служила для формирования электронной наноструктуры, которая является прообразом наноэлектронного трансдьюсера.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич