|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Диагностика наноразмерных пленок 3d-металлов методом оже-электронной спектроскопии для аттестации синтеза биосовместимых мембрандоклад на конференции
- Авторы: Гусейнов Тимур, Бакиева О.Р., Валеев Р.Г., Бельтюков А.Н.
- Всероссийская Конференция : 66-я Всероссийская научная конференция МФТИ
- Даты проведения конференции: 1-6 апреля 2024
- Дата доклада: 4 апреля 2024
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: МФТИ, Russia
-
Аннотация доклада:
Были синтезированы тонкие пленки 3d-металлов (Co, Cr, Ti), подложка - монокристаллический кремний. Методом оже-электронной спектроскопии, совместно с профилированием ионами аргона малых энергий, исследовали качественный и количественный состав пленок. Методом АСМ измеряли глубину профилирования с помощью медной маски. Благодаря этому становится возможным определение средней скорости распыления тонких пленок. Были построены зависимости распределения химических элементов от глубины профилирования.
- Добавил в систему: Гусейнов Тимур Забитович