ИСТИНА

В докладе представлено применение низкотемпературного химического осаждения из газовой фазы (т.н. CVD-покрытий) при пониженном давлении для получения защитных и функциональных слоев на элементах узлов в изделиях, работающих в экстремальных условиях. Представлены результаты исследования процесса формирования CVD-покрытий на основе системы W-C из фторсодержащих газовых смесей, в том числе определены граничные условия формирования фазовых состояний в системе и исследованы структурно-эксплуатационные характеристики покрытий. Приведен опыт применения вакуумного метода CVD для нанесения вольфрамовых покрытий на тепловоспринимающие поверхности электровакуумных приборов сверхвысоких частот (ЭВП СВЧ). Обозначены возможности применения покрытий в различных отраслях промышленности, в том числе в нефтегазовой и химической.