ИСТИНА

Была исследована возможность создания виртуальной диагностики потока и энергии ионов, приходящих на вч-нагруженный электрод, в асимметричном двухчастотном ВЧЕ разряде в Ar, N2 и Xe плазмах. Энергетические распределения ионов были рассчитаны согласно полуаналитической модели движения ионов в приэлектродном слое, включающей в себя ряд внешне измеряемых параметров разряда. Прямые измерения энергетических спектров ионов были проведены анализатором энергий частиц RFEA. Поток ионов был измерен методом переменного автосмещения.