ИСТИНА

Диоксид ванадия при 680С проявляет сверхбыстрый фазовый переход из диэлектрической М-фазы в металлическую R-фазу. В ходе данного превращения происходит резкое изменение электрических, оптических и магнитных свойств материала. Такие свойства позволяют отнести диоксид ванадия к перспективным кандидатам для создания переключающих электрических и оптических устройств (термохромные «умные» окна, амплитудные модуляторы ТГц и ИК-излучения и др.). Для внедрения устройств на основе VO2 в использование необходимо получать диоксид ванадия в виде пленок на различных подложках. Самыми оптимальными для этих целей оказались подложки из R-Al2O3 и монокристаллического кремния. Однако особенности формирования VO2 в виде пленок не позволяют осуществлять осаждение существующими технологиями напрямую. Целью работы стала разработка способа получения пленочных материалов на основе VO2 методом гидротермального синтеза на подложках из R-Al2O3 и монокристаллического кремния и изучение свойств полученных образцов.