ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Наноэлектромеханические системы (НЭМС) сыскали широкое применение на передовых направлениях науки, благодаря своей высокой чувствительности к различным внешним воздействиям. В работе представлен уникальный метод изготовления НМР с близкорасположенными управляющими электродами. Произведены теоретические оценки значений собственных частот изготовленных НМР при различных температурах.