|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experimental study and computer simulation of AlN sputteringдоклад на конференции
- Авторы: Zykova E.Y., Yurasova V.E., Promokhov A.A., Elovikov S.S.
- Международная Конференция : The second international workshop HI-TECH 98, Non-destructive testing and computer simulations in science and engineering (NDTC-98)
- Даты проведения конференции: 1998
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: St-Petersburg, Russia, Russia
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна