|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Модификация поверхности кремния и кремниевых наноструктур под воздействием холодной плазмы атмосферного давлениядоклад на конференции
- Авторы: Якунин В.Г., Тимошенко В.Ю., Преснов Д.Е., Савинов В.П., Покрышкин Н.С.
- Всероссийская Конференция : XII Всероссийская конференция «Необратимые процессы в природе и технике
- Даты проведения конференции: 31 января - 3 февраля 2023
- Дата доклада: 3 февраля 2023
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Исследована модификация поверхности кремниевых структур с нанонитями под воздействием низкотемпературной плазмы атмосферного давления с использованием He и Ar в качестве плазмообразующих газов. Мощность созданного низкочастотного (30 кГц) источника плазмы не превышала 10 Вт. Кремниевые образцы с нанонитями облучали плазмой в различных режимах мощности и временных интервалов. Все облученные образцы, даже при минимальных мощностях и временах обработки, содержали нанонити в виде грибовидных образований, свидетельствующих об их разрушении. Предложен механизм деструктуризации нанонитей, аналогичный известному в литературе механизму деформации клеточной мембраны под воздействием приложенного внешнего электрического поля достаточной интенсивности.
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич