|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Зависимость электропроводности тонких углеродных пленок на изолирующих подложках от скорости набора дозы при имплантации ионов аргонадоклад на конференции
- Авторы: Картапова Т.С., Гильмутдинов Ф.З., Еремина М.А.
- Всероссийская Конференция : VIII Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов "Физические и физико-химические основы ионной имплантации" (ФФХОИИ-2022)
- Даты проведения конференции: 11-14 октября 2022
- Дата доклада: 12 октября 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Картапова Т.С.
- Место проведения: Казань, Russia
-
Аннотация доклада:
Исследована зависимость электропроводности тонких углеродных пленок на изолирующих подложках от скорости набора дозы при импульсной имплантации ионов аргона при фиксированных значениях Е=30 кэВ, D=1017 ион/см2.
- Добавил в систему: Гильмутдинов Фаат Залалутдинович