ИСТИНА

Настоящая работа посвящена изучению возможностей повышения энергии ионов на выходе из источника плазмы, имеющего геометрию СПД, при условии, что на электрод, находящийся в канале СПД, подается высокочастотное напряжение в комбинации с постоянным смещением. При этом разряд, поддерживается гибридным разрядом, основанном на емкостном ВЧ разряде и разряде постоянного тока. Эксперименты проводились при мощности ВЧ генератора 80 – 160 Вт (частота 13.56МГц), постоянное смещение составляло 0-450В. Величина магнитного поля менялась от 100Гс до 500Гс. Расход для аргона составлял 30 см3/мин, для ксенона 4 см3/мин. Показано, что постоянное смещение активного электрода позволяет контролировать энергию пучка ионов на выходе из источника плазмы в диапазоне 100 – 600 эВ. При этом изменением мощности, вкладываемой через ВЧ канал разряда, можно независимо управлять плотностью потока ионов. Математическое моделирование показало, что увеличение энергии ионов при подаче постоянного смещения на электрод связано с повышением потенциала плазмы относительно земли.