ИСТИНА

В докладе приведен обзор направлений работы и основных достижений Лаборатории химии координационных соединений химического факультета МГУ имени М.В.Ломоносова в области химического осаждения из газовой фазы. Более чем 25-лет-няя история этих работ затронула множество функциональных материалов, таких как высокотемпературные сверхпроводники, манганиты с колоссальным магнетосопротив-лением, материалы с переходом металл-диэлектрик, прозрачные проводящие оксиды, диэлектрики, сегнетоэлектрики, буферные слои, а также различного рода слоистые гетероструктуры, включающие различные материалы преимущественно оксидной природы. В большинстве своем эти материалы были получены в форме гетеро-эпитаксиальных пленок и представляли собой объекты изучения фундаментальных свойств (электрических, магнитных, магнитоэлектрических, магнитооптических и т.д.). Многокомпонентность объектов исследования, их химическая природа и особенности функциональных свойств диктовали необходимость совершенствования и вариации их получения методом MOCVD. Были предложены различные процессы газофазного осаждения и оборудование для их воплощения, различающиеся типом химической реакции и применяемыми прекурсорами, способом перевода прекурсоров в пар и их поставки в реактор, типом реактора, режимом осаждения, а также приемами активации процессов роста пленок. Успешным примером суммирования накопленного опыта явилась разработанная технология длинномерных ВТСП-лент второго поколения. Рассмотрен круг задач, решаемых в настоящее время: MOCVD тонкопленочных нанокомпозитов ВТСП с искусственными центрами пиннинга, получение материалов с переходом диэлектрик-металл на основе диоксида ванадия, получение мультиферроиков. Отдельное внимание в докладе уделено развитой нами концепции эпитаксиальной стабилизации автономно-неустойчивых фаз и практическим результатам, полученным с применением MOCVD в соответствии с этой концепцией, таким как расширение морфотропных рядов манганитов, индатов и феррогранатов РЗЭ, синтез неизвестных соединений, легко диссоциирующих соединений и пересыщенных твердых растворов.