|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Mid-IR femtosecond micromachining of siliconдоклад на конференции
- Авторы: Mareev E.I., Pushkin A.V., Migal E.A., Lvov K.V., Stremoukhov S.Y., Potemkin F.V.
- Международная Конференция : 20th International Conference Laser Optics (ICLO 2022)
- Даты проведения конференции: 20-24 июня 2022
- Дата доклада: 22 июня 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Mareev E.I.
- Место проведения: г. Санкт-Петербург, Russia
-
Аннотация доклада:
We achieved the deposited energy density ~ 6 kJ/cm3 under tight focusing of mid-IR femtosecond laser radiation inside the bulk of the silicon. In this regime, we have successfully performed singlepulse silicon microstructuring.
- Добавил в систему: Потёмкин Фёдор Викторович