|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Анализ углеродных пленок на стекле, полученных методом магнетронного распылениядоклад на конференции
- Авторы: Картапова Т.С., Гильмутдинов Ф.З., Еремина М.А., Быков П.В.
- Международная Конференция (Семинар (workshop)) : 14-й Международный Уральский семинар «Радиационная физика металлов и сплавов»,
- Даты проведения конференции: 25-29 апреля 2022
- Дата доклада: 25 апреля 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Картапова Т.С.
- Место проведения: Кыштым, Russia
-
Аннотация доклада:
Получены тонкие углеродные пленки на поверхности предметного стекла магнетронным распылением углеродной мишени в среде рабочего газа Ar с последующей бомбардировкой ионами азота и аргона с вариацией дозы облучения. Поверхностно чувствительными методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света изучены их химический состав и особенности атомной структуры. Методом атомно-силовой микроскопии оценены толщины и топографии полученных покрытий. Измерено электросопротивление углеродных пленок. Показано, что ионно-лучевая обработка может быть направленно использована для формирования углеродных пленок и покрытий с заданными электропроводящими свойствами.
- Добавил в систему: Быков Павел Владимирович