|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Использование силансодержащего OSTE+ полимера в микроэлектронной техникедоклад на конференции
- Авторы: Пучнин К.В., Рязанцев Д.В., Грудцов В.П., Кузнецов А.Е.
- Всероссийская Конференция : 6-я научно-практическая конференция «Интеллектуальные системы и микросистемная техника-2022»
- Даты проведения конференции: 1-7 февраля 2022
- Дата доклада: 4 февраля 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Пучнин К.В.
- Место проведения: Эльбрус, Russia
-
Аннотация доклада:
В последние годы наблюдается рост персонализированной электроники. Однако до сих пор актуальна проблема гетероинтеграции для кремниевых чипов. В данной работе была создана полимерная композиция, способная взаимодействовать с OH-группами кремниевой поверхности. В качестве основы был выбран OSTE полимер с добавлением меркаптосилана. Измерение физико-химических свойств показало, что прочность на разрыв составляет 58 МПа, модуль Юнга 1.7 ГПа, полимер термически стабилен до 330 °C и прозрачен в области 420-1000 нм. На основе полученного полимера была создана трёхмерная структура на кремниевом чипе.
- Добавил в систему: Пучнин Кирилл Владимирович