ИСТИНА

Доклад посвящен автоматизации позиционирования сканирующего зондового микроскопа в маркированную зону с использованием реперных отметок. Для распознавания реперных отметок применялся метод сравнения с шаблоном. В качестве меры сравнения использовалась взаимная нормированная корреляционная функция (cross-correlation function). Представлена схема обработки, подразумевающая сравнение шаблона реперной отметки со скользящей выборкой изображения и поиск особых точек, в качестве которых выступают локальные максимумы корреляционной функции. Определены параметры, изменяемые в процессе многопроходовой обработки. К этим параметрам относятся размер окна поиска локальных максимумов корреляционной функции и порог фильтрации этих максимумов. Продемонстрирован алгоритм изменения параметров корреляционного анализа при фильтрации особых точек и определении их принадлежности к реперным отметкам.