|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Удаление метильных групп с поверхности Low-K диэлектриков ионами Ar и Xe низкой энергиидоклад на конференции
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Всероссийская Конференция : XXII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине"
- Даты проведения конференции: 22-23 ноября 2021
- Дата доклада: 23 ноября 2021
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Соловых А.А.
- Место проведения: МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Russia
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич