|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Плазмохимическое осаждение алмазоподобных покрытий в емкостном ВЧ разряде в парах толуоладоклад на конференции
- Авторы: Вавилин К.В., Задириев И.И., Кралькина Е.А., Никонов А.М.
- Всероссийская с международным участием Конференция : XIII Международная научно-техническая конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
- Даты проведения конференции: 2-4 ноября 2021
- Дата доклада: 3 ноября 2021
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: г. Казань, Russia
-
Аннотация доклада:
Выполнено экспериментальное исследование скорости процесса плазмохимического осаждения алмазоподобных покрытий в парах толуола в емкостном высокочастотном разряде. Показано, что в диапазоне ВЧ мощностей 100-300 Вт основное влияние на скорость осаждения оказывает давление толуола в вакуумной камере. Максимальная полученная скорость осаждения составила 4,15 мкм/ч.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Никонов Александр Михайлович