ИСТИНА

Проведены эксперименты по имплантации ионов Fe+ с энергиями 90 и 250 кэВ и дозой облучения 10^16ион/см2 в монокристалл кремния с ориентацией (110). Профили распределения внедрённой примеси исследовались про помощи метода резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием. Проведено сравнение экспериментальных результатов с результатами моделирования бинарных соударений методом Монте-Карло в программе TRIM. Показано, что при энергии имплантации 90 кэВ значение максимума распределения внедрённой примеси, рассчитанное с помощью программы TRIM, завышено на 30% по сравнению с экспериментальными данными. С увеличением энергии до 250 кэВ экспериментальный и рассчитанный профили распределений совпадают в пределах погрешности. Так же было рассмотрено разрушение кристаллической структуры монокристалла кремния, вызванное ионной имплантацией.