|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Рентгеновская рефлектометрия, дифрактометрия и электронная спектроскопия многослойных структур с нанокристаллами кремниядоклад на конференции
- Авторы: Жигунов Д.М., Каменских И.А., Якунин С.Н., Кашкаров П.К., Чумаков Р.Г., Камеко Н.О., Лебедев А.М.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Конгресс) : Первый Российский кристаллографический конгресс
- Даты проведения конференции: 21-26 ноября 2016
- Дата доклада: 22 ноября 2016
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Были исследованы структурные свойства многослойных тонких пленок SiOx/SiO2, SiOx/Si3N4 и SiNx/Si3N4, осажденных на кремниевые подложки методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.
- Добавил в систему: Жигунов Денис Михайлович