|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИдоклад на конференции
- Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Сологуб В.А., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Павлов В.Б.
- Всероссийская с международным участием Конференция : 23-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016»
- Даты проведения конференции: 7-9 июня 2016
- Дата доклада: 8 июня 2016
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна