ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Проведено облучение макропористого кремния ионами Ar+ с энергией 100 кэВ и флюенсами от 10^12 см^(-2) до 10^14 см^(-2). Исследовано влияние ионного облучения при разных флюенсах на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Пористый кремний до облучения обладает собственной фотолюминесценцией на длине волны 630 нм. Ионное облучение привело к синему сдвигу полосы фотолюминесценции. Первичное увеличение флюенса от 10^12 см^(-2) до 10^13 см^(-2) привело к снижению интенсивности фотолюминесценции, не влияя при этом на размер сдвига максимума. При последующем увеличении ионного флюенса от 3·10^13 см^(-2) до 10^14 см^(-2) в спектре выделяется второй пик в районе 550 нм. Обсуждаются основные механизмы фотолюминесценции в пористом кремнии.