|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Подавление осаждения пленок из углеводородной плазмы с добавками в неё азота и NH3доклад на конференции
- Авторы: Буховец В.Л., Городецкий А.Е., Залавутдинов Р.Х., Захаров А.П., МУХИН Е.Е.
- Локальная Конференция : Научная сессия НИЯУ МИФИ-2010 «Взаимодействие плазмы с поверхностью»
- Даты проведения конференции: 25-31 января 2010
- Дата доклада: 29 января 2010
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович