|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Плазменная очистка многослойного покрытия от загрязнений углеродом и оловомдоклад на конференции
- Авторы: Иванов В.В., Ковалев А.С., Брагинский О.В., Рахимова Т.В., Васильева А.Н., Лопаев Д.В.
- Международная Конференция (Симпозиум) : International EUVL Symposium, 15-18 October 2006
- Даты проведения конференции: 2006
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Barcelona, Spain, Spain
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович