|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследование влияния теплоотвода в подложку при проведении процесса электромиграции в металлических нанопроводах.доклад на конференции
- Авторы: Гайдамаченко В.Р., Солдатов Е.С., Сапков И.В., Дагесян С.А.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Семинар (workshop)) : XV Всероссийская школа-семинар «Волновые явления в неоднородных средах» имени А.П. Сухорукова («Волны-2016»)
- Даты проведения конференции: 5-10 июня 2016
- Дата доклада: 6 июня 2016
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Гайдамаченко В.Р.
- Место проведения: Красновидово, Московская область, Russia
-
Аннотация доклада:
Изготовлены наноэлектроды из золота методами электронно-лучевой нанолитографии толщиной 15 нм, шириной 1 мкм и до 30 нм в максимальном сужении. Разработана методика создания нависания этих проводов над подложкой путем изотропного травления материала подложки под ними в плавиковой кислоте. При этом показана непригодность использования реактивного травления в плазме для создания заготовок для проведения электромиграции. Методом электромиграции изготовлены зазоры в условиях обедненного теплооотвода в подложку в полученных нанопроводах шириной 1,5-4 нм. Исследованы характеристики протекания тока через изготовленные нанозазоры, которые показали туннельный характер электронного транспорта через них.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич