ИСТИНА

Актуальной задачей в технологиях микро- и наноэлектроники является создание гидрофобной поверхности, например, для уменьшения трения в МЭМС изделиях, для создания антиадгезивных покрытий штампов в процессах наноимпринтной литографии, для создания гидрофобной поверхности каналов в микрофлюидных системах. Кроме того, гидрофобные поверхности могут быть использованы для уменьшения паразитной поверхности в микросистемах химического анализа для улучшения их сенсорных характеристик. Целью данной работы являлась оптимизация условий для одновременного формирования гидрофобной самособирающейся плёнки на поверхности оксидов кремния и тантала, а также селективное снятие сформированной пленки с поверхности оксида тантала по отношению к пленке, сформированной на поверхности SiO2.Данные результаты могут быть использованы для улучшения сенсорных характеристик микросистем химического анализа.