ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Настоящая работа посвящена изучению эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой и структуры возбуждаемых волн в индуктивных ВЧ источниках плазмы (ИП) диаметром 20см и длиной – 20, 32 и 52см при наличии внешнего магнитного поля 10 – 65 Гс. При указанных значениях магнитного поля в плазме возможно возбуждение геликонов и косых ленгмюровских волн. Измерения выполнены в аргоне в диапазоне давлений 0,1 2,3 мТорр и мощностях ВЧ генератора 200 – 800 Вт.