|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ПРИМЕНЕНИЕ УСКОРИТЕЛЯ ИОНОВ «ТАНДЕТРОН» ПРИ СОЗДАНИИ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ С ПОВЫШЕННОЙ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТЬЮ И ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОСТЬЮдоклад на конференции
- Авторы: Лагов П.Б., Дренин А.С., Зиновьев М.А., Роговский Е.С., Куприянов Б.В., Глотов А.И., Кобец У.А., Бажал С.В., Романов В.А.
- Всероссийская Конференция : 19-я Всероссийская научно-техническая конференция «Стойкость – 2016»
- Даты проведения конференции: 7-8 июня 2016
- Дата доклада: 7 июня 2016
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Лагов П.Б.
- Место проведения: г. Лыткарино, Russia
-
Аннотация доклада:
Рассмотрены возможности применения ускорителя ионов Тандетрон как технологического инструмента при создании полупроводниковых приборов различных типов на основе кремния и широкозонных материалов. Приведены краткие технические характеристики ускорителя. Представлены результаты улучшения электрических параметров различных кремниевых диодных структур и соответствующие режимы, выбранные с учетом двух и трехмерного моделирования взаимодействия ускоренных протонов с кристаллами диодов и последующего стабилизирующего отжига.
- Добавил в систему: Лагов Петр Борисович