ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Рассмотрены возможности применения ускорителя ионов Тандетрон как технологического инструмента при создании полупроводниковых приборов различных типов на основе кремния и широкозонных материалов. Приведены краткие технические характеристики ускорителя. Представлены результаты улучшения электрических параметров различных кремниевых диодных структур и соответствующие режимы, выбранные с учетом двух и трехмерного моделирования взаимодействия ускоренных протонов с кристаллами диодов и последующего стабилизирующего отжига.