|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ИССЛЕДОВАНИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ НАНОСТРУКТУР ПОД ДЕЙСТВИЕМ ОБЛУЧЕНИЯ КЛАСТЕРНЫМИ ИОНАМИ АРГОНАдоклад на конференции
- Автор: Киреев Д.С.
- Всероссийская Конференция (Семинар (workshop)) : X Всероссийская школа-семинар студентов, аспирантов и молодых учёных «Диагностика наноматериалов и наноструктур»
- Даты проведения конференции: 1-6 октября 2018
- Дата доклада: 4 октября 2018
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Киреев Д.С.
- Место проведения: Рязань, Russia
-
Аннотация доклада:
В данной работе с помощью атомно-силовой микроскопии была изучена эволюция поверхностных наноструктур кремния при облучении газовыми кластерными ионами аргона. Исследовалось влияние дозы облучения кластерными ионами аргона, ускоренными до энергии 10 кэВ, на кремниевые упорядоченные структуры, имеющие заведомо известные параметры. Поверхность образцов состояла из трех областей, которые отличались скважностью периодических структур,облучение проводилось под углами 30 и 60 градусов от нормали к поверхности.
- Добавил в систему: Киреев Дмитрий Сергеевич