ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Доклад посвящен результатам исследований характеристик напыленных пленок диоксида кремния с помощью метода Ion Beam Sputtering. Обсуждаются структурные характеристики пленок в зависимости от энергии напыляемых атомов, внутренние напряжения, шероховатость поверхности напыленной пленки.