|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Структурные свойства напыленных пленок диоксида кремния: результаты наномасштабного суперкомпьютерного моделирования.доклад на конференции
- Автор: Григорьев Ф.В.
- Международная Конференция : Ломоносовские чтения -2016, секция вычислительной математики и программирования
- Даты проведения конференции: 18-22 апреля 2016
- Дата доклада: 21 апреля 2016
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Григорьев Ф.В.
- Место проведения: Москва, МГУ им. М.В. Ломоносова, Russia
-
Аннотация доклада:
Доклад посвящен результатам исследований характеристик напыленных пленок диоксида кремния с помощью метода Ion Beam Sputtering. Обсуждаются структурные характеристики пленок в зависимости от энергии напыляемых атомов, внутренние напряжения, шероховатость поверхности напыленной пленки.
- Добавил в систему: Григорьев Федор Васильевич