|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Compact chemical vapor deposition system with embedded scanning probe microscope for in-situ study of material growthдоклад на конференции
- Авторы: Loginov A.B., Obraztsov A.N., Ismagilov R.R.
- Международная Конференция (Семинар (workshop)) : Seventh International Workshop Nanocarbon Photonics and Optoelectronics
- Даты проведения конференции: 6-11 августа 2018
- Дата доклада: 9 августа 2018
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Savonlinna, Finland
-
Аннотация доклада:
The chemical vapor deposition (CVD) setup combining reactor and scanning probe microscope (SPM) was developed using principles described earlier. Exceptional feature of the created setup is its ability to provide in-situ measurements during deposition process.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Логинов Артем Борисович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Краткий текст | Abstract | NPO2018_Loginov_Abstract_3.docx | 1,0 МБ | 17 августа 2018 [Artem_Loginov] |