ИСТИНА

Установлено, что как в легированных, так и в нелегированных отожженных пленках при низких температурах наблюдается прыжковая проводимость с переменной длиной прыжка по состояниям оборванных связей вблизи уровня Ферми. При высокой температуре в этих пленках наблюдается зонная проводимость. Однако положение уровня Ферми в нелегированной отожженной пленке осталось неизменным, в то время как в легированной пленке уровень Ферми сместился к валентной зоне. Кроме того в легированной пленке в области промежуточных температур наблюдается прыжковая проводимость по состояниям хвоста валентной зоны, обусловленная возрастанием концентрации электрически активных атомов бора после высокотемпературного отжига и существенным смещением уровня Ферми к валентной зоне. Определена ширина плотности состояний с неэкспоненциальным спадом в хвосте валентной зоны