ИСТИНА

Пленки осаждались на лавсановые подложки из низкотемпературной плазмы. Использовалась триодная схема осаждения. В цилиндрическом кварцевом реакторе между двумя электродами поджигался тлеющий разряд при частоте 50 Гц, который служил для активации газовой среды. Степень активации зависела от силы тока (тока активации). Третий электрод располагался снаружи реактора и служил для управления потоком ионов на поверхность подложки. Ток осаждения имел частоту 250 кГц. В экспериментах использовали метан при давлении 0,5 - 3 Тор. Температура подложки не превышала 100 градусов Цельсия. Полученные покрытия характеризовались скоростью роста, микротвёрдостью системы плёнка-подложка, коэффициентом пропускания на двух длинах волн. Пленки исследовались методом Оже-спектроскопии. Авторы исходят из того, что а-С:Н плёнки растут из продуктов конверсии метана в электрическом разряде, которые адсорбируются на поверхности и подвергаются бомбардировке ионами под влиянием тока осаждения. Поэтому была предложена идея активатора, через который пропускался метан, но плотность тока активации была на порядок больше, чем в сечении реактора. При большой плотности тока степень конверсии метана выше, образуется гораздо больше продуктов разложения. Вместе с тем, по выходе из активатора газ быстро расширяется, поэтому степень неравновесности газовой среды возрастает. Применение активатора позволило увеличить скорость роста плёнок, повысить микротвёрдость и уменьшить коэффициенты поглощения.