|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследование структурных изменений нанопористых Si-содержащих материалов в процессе их физического распыления ионами Ar низких энергийдоклад на конференции
- Авторы: Воронина Е.Н., Сычева А.А., Рахимова Т.В.
- Международная Конференция : XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
- Даты проведения конференции: 29-31 мая 2018
- Дата доклада: 29 мая 2018
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Сычева А.А.
- Место проведения: МГУ им. Ломоносова, Russia
-
Аннотация доклада:
В данной работе представлены результаты моделирования методом молекулярной динамики процессов распыления нанопористых материалов на основе Si ионами Ar с энергией до 200 эВ. В качестве моделей использовались аналоги low-k материалов с различными радиусами пор (0,8–2,8 нм) и степенью пористости (22% и 44%).
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна