Объединенная конференция «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»Конференция
Охват:Международная
Даты проведения:13-16 ноября 2023
Место проведения:г. Черноголовка, Russia
Организаторы:
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники»
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка
АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград