ИСТИНА

• Охват: Международная
• Даты проведения: 18-22 сентября 2023
• Место проведения: Республика Башкорторстан, г. Уфа, ул. Карла Маркса, д. 12, Россия
• Организатор:
  Уфимский университета науки и технологий
• Число участников: 150
• Число иностранных участников: 7
• Число участников из МГУ: 2
• Число докладчиков: 100
• Веб-сайт: https://gdpa.ru
• Добавил в систему: Шибанов Даниил Романович

Доклады:

• 2023 Plasma enhanced atomic layer etching of SiO in Ar/C F inductively coupled plasma with O cleaning step (Устный)
• Авторы: Shibanov D.R., Lopaev D.V., Zaseev Y.G., Pavlov G.Y., Rakhimov A.T.

• 2023 Sputtering of amorphous Si and SiO2 by low-energy Ar+, Kr+ and Xe+ ions (Устный)
• Авторы: Shibanov D.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.