ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей физики микро- и наноразмерных приборов, а также микро- и наноэлектронных технологий. ICMNE-2016 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет работать выставка, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектронных применений. Тематика: Материалы и пленки для микро- и наноэлектронных структур: Si, SOI, DOI, SiGe, A3B5, A2B6 High-k диэлектрики, low-k диэлектрики Металлы для затворов, контактов и систем металлизации наноразмерных приборов Магнитные материалы, наномагнетики 1D и 2D материалы Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы Физика микро- и наноразмерных приборов: Тенденции масштабирования: More Moore, beyond CMOS, and more than Moore trends Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные и другие Интегральные устройства памяти, DRAM, ReRAM, FeRAM Магнитные микро- и наноструктуры, приборы спинтроники Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства Приборы оптоэлектроники, фотоники Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS) Моделирование Технологии и перспективное технологическое оборудование для производства приборов микро- и наноэлектроники: Суб-65 нм литография: DUV, иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС Технологии получения 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и другие) Технологии создания МЭМС и НЭМС Технологии создания сверхпроводящих приборов Метрология: In situ методы мониторинга технологических процессов Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур Квантовая информатика: Квантовые компьютеры: теория и эксперимент Квантовые измерения Квантовые алгоритмы Квантовая связь Организаторы и спонсоры: Физико-технологический институт, Москва, Россия АО "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники", Зеленоград, Россия Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия Российская академия наук, Oтделение нанотехнологий и информационных технологий Научный Совет РАН по физическим и химическим основам полупроводникового материаловедения SPIE – The International Society for Optical Engineering, USA - the publisher of the Conference proceedings Институт физики полупроводников, Новосибирск, Россия Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия TechnoInfo Ltd., Wembley, UK Компания НИКС, Москва, Россия ЗАО "НТО" (SemiTEq), Санкт-Петербург, Россия