Тезисы докладов объединенной конференции «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»сборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• 
  • 2023 Исследование морозостойких резин с антифрикционным покрытием
  • Шкалей И.В., Щербакова О.О., Муравьева Т.И.
  • в сборнике Тезисы докладов объединенной конференции «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике», тезисы, с. 77