|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Book of Asbtract "Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)"сборник
- Год издания: 2019
- Место издания: Grenoble
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2019 Understanding the interaction mechanisms between amorphous carbon sacrificial patterning material and H2 plasma to enable area-selective ALD processes
- Zyulkov I., Voronina E.N., Chan BT, Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., De Gendt S., Armini S.
- в сборнике Book of Asbtract "Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)", место издания Grenoble, тезисы