Области научных интересов
Ключевые слова: рентгеновские лучи; рентгеновская оптика; микроскопия; ЭУФ литография / X-rays; X-ray Optics; Microscopy; EUV lithography
Ключевые слова
рентгеновская оптика, рентгеновская микроскопия, томография
X-ray optics, X-ray miscoscopy, CT