|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Stress Metrology : The challenge for the next generation of engineered wafersстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 февраля 2024 г.
- Авторы: Tiberj Antoine, Paillard Vincent, Aulnette Cécile, Daval Nicolas, Bourdelle Konstantin K., Moreau Myriam, Kennard Mark, Cayrefourcq Ian
- Журнал: Materials Research Society symposia proceedings. Materials Research Society
- Том: 809
- Год издания: 2004
- Издательство: North Holland
- Местоположение издательства: Amsterdam, Netherlands
- Номер статьи: B3.1
- DOI: 10.1557/proc-809-b3.1
- Добавил в систему: Бурдель Константин Константинович