|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Обработка и анализ данных в сканирующей зондовой микроскопии: алгоритмы и методыстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Филонов А., Яминский И.
- Журнал: Наноиндустрия
- Номер: 2
- Год издания: 2007
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 32
- Последняя страница: 34
- Аннотация: С канирующая зондовая микроскопия занимает прочные позиции в различных областях наноиндустрии. Сканирующие микроскопы успешно применяются как измерительное средство при разработке новых технологий и устройств нанометрового диапазона и при контроле за технологическими процессами изготовления подложек, микрочипов и носителей памяти, причем анализ большого количества данных – неотъемлемое требование при реализации производственных процессов.
- Добавил в систему: Мешков Георгий Борисович