|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Comparison of algorithms used for optical characterization of multilayer optical coatingsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Amotchkina Tatiana V., Trubetskov Michael K., Pervak Vladimir, Schlichting Sebastian, Ehlers Henrik, Ristau Detlev, Tikhonravov A.
- Журнал: Applied optics
- Том: 50
- Номер: 20
- Год издания: 2011
- Издательство: Optical Society of America
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 3389
- Последняя страница: 3395
- DOI: 10.1364/AO.50.003389
- Аннотация: Two algorithms used for the on-line and off-line characterization of multilayer optical coatings are experimentally compared using test samples produced by two different deposition processes and different monitoring approaches. One of these algorithms, called the triangular algorithm, demonstrates its superiority in all considered situations. We performed experiments with multilayer samples formed by high-density thin films, which allowed us to neglect possible errors in the film refractive indices and concentrate only on errors in the thicknesses of the layers of the produced coatings. (C) 2011 Optical Society of America
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович